0515-83835888
Hem / Produkt / Professionell tillverkning av PVD -vakuumjonbeläggningsutrustning / Magnetron sputtering beläggningsproduktionslinje

Magnetron sputtering beläggningsproduktionslinje

Kontinuerlig magnetron sputtrande beläggningsproduktionslinjeöversikt

Kontinuerlig magnetron sputteringsbeläggning är en avancerad tunnfilm deponeringsteknologi som använder ett magnetfält för att kontrollera rörelsesbanan för jonbjälkar i ett lågtrycksmiljö, uppnå sputtering vidhäftning till materialytan och därigenom bilda en enhetlig, tät och väl vidhäftad tunnfilmskikt på underlaget. Denna teknik kan inte bara förbättra materialets hårdhet, slitstyrka och korrosionsmotstånd utan också förändra deras optiska,
Elektriska och termiska egenskaper för att tillgodose behoven hos olika fält.

Arbetsprincip

Arbetsprincipen för kontinuerlig magnetronsputteringsbeläggning är att införa ett magnetfält på ytan av målkatoden och använda magnetfältet för att begränsa de laddade partiklarna för att öka plasmatätheten och därmed öka sputteringshastigheten. Argonjoner påskyndas av katoden och bombarderar ytan på katodmålet, sputterar atomer från målytan och avsätter dem på substratytan för att bilda en tunn film. Genom att ändra målen för olika material och kontrollera olika sputteringstider kan tunna filmer av olika material och tjocklekar erhållas.

Tekniska fördelar

Hög deponeringsfrekvens: På grund av användningen av magnetronelektroder kan en mycket stor målbombardementjonström erhållas, vilket resulterar i en hög sputerande etsningshastighet på målytan och en hög filmavlagring på substratytan.
● Hög effekteffektivitet: Kollisionssannolikheten mellan lågenergielektroner och gasatomer är hög, vilket resulterar i en betydande ökning av gasjoniseringsgraden. På motsvarande sätt reduceras impedansen för urladdningsgas (eller plasma) avsevärt. Jämfört med DC-diodsputtering, även om arbetstrycket reduceras från 1-10Pa till 10-2- 10-1Pa, reduceras också sputringsspänningen från flera tusen volt till flera hundra volt, och sputteringseffektiviteten och avsättningshastigheten ökar genom storleksordning.
Sputtering av låg energi: På grund av den låga katodspänningen som appliceras på målet begränsas plasma av magnetfältet i utrymmet nära katoden och undertrycker därmed förekomsten av högenergi laddade partiklar på ena sidan av underlaget. Därför är graden av skador som orsakats på substrat såsom halvledaranordningar av laddat partikelbombardement lägre än andra sputtrande metoder.
Brett material tillämpbarhet: Alla metaller, legeringar och keramiska material kan göras till målmaterial; Genom likström eller radiofrekvensmagnetronsputtering kan rena metall- eller legeringsbeläggningar med exakta och konstanta förhållanden, såväl som metallreaktionsfilmer med gasdeltagande, genereras för att uppfylla kraven för olika och högkollt tunna filmer.

Ansökningsområde

Kontinuerlig magnetron sputteringsbeläggningsteknik används i stor utsträckning inom elektronik- och informationsindustrin, såsom integrerade kretsar, informationslagring, flytande kristallskärmar, laserminne, elektroniska styrenheter osv. Det kan också appliceras inom glasbeläggningen; Det kan också appliceras på industrier som slitstödda material, högtemperaturkorrosionsbeständighet och avancerade dekorativa produkter.

Produktparameter

Kontinuerlig magnetron sputteringsbeläggningsteknik spelar en viktig roll i modern industri på grund av dess höga effektivitet, enhetlighet och kontrollerbarhet. Med teknikens utveckling kommer denna teknik att fortsätta driva utvecklingen av nya material och produkter, vilket ger mer innovations- och utvecklingsmöjligheter till olika branscher.

KOTA Technology Limited Company

Om oss

KOTA Technology Limited Company grundades 2012, med ett registrerat kapital på 10 miljoner yuan, är ett nationellt högteknologiskt företag.
Huvudkontoret i Shanghai, Kina, har företaget ett antal helägda och innehar dotterbolag i Nantong, Yancheng och andra platser i Jiangsu-provinsen och har etablerat FoU-centra i Kina och Japan för att layout den globala marknaden. För närvarande har företaget vuxit till en välkänd inhemsk tillverkare av ny energiintelligent utrustning och är ett företag inom området litium kopparfolieutrustning i landet. Företagets kärntekniska team under ledning av Mr. Matsuda Mitsuya i Nagoya, Japan, fokuserar på utveckling och integration av avancerad tillverkningsutrustning och automatiseringssystem inom området elektromekanisk utrustning med hög precision. Genom introduktionen av japansk avancerad teknik och designkoncept och import av ursprungliga precisionsdelar från Japan har de olika utrustningsprodukter som produceras av företaget blivit branschens riktmärken.

Ära

  • ära
    Patentcertifikat
  • ära
    Patentcertifikat
  • ära
    Patentcertifikat
  • ära
    Patentcertifikat
  • ära
    Patentcertifikat
  • ära
    Patentcertifikat
  • ära
    Patentcertifikat
  • ära
    Patentcertifikat

Nybörjare

Kontakta oss nu

Branschkunskap

1. Vad är kontinuerlig magnetron sputteringsbeläggning och hur fungerar det?
Magnetron sputtering beläggningsproduktionslinje är en avancerad och mycket exakt tunnfilmavlagringsteknik som används för att förbättra materialegenskaperna. Det fungerar genom att införa ett magnetfält på ytan av en målkatod och vägleda rörelsen av joner i en lågtrycksmiljö. Detta resulterar i en sputteringsprocess där atomer från målet kastas ut genom att bombardera dem med accelererade argonjoner och därefter deponeras på ett underlag. Detta tunna filmskikt kan anpassas för att möta den nödvändiga tjockleken och materialspecifikationerna genom varierande sputteringstider och använda olika målmaterial.
På Hongtian Technology Co., Ltd., förstår vi vikten av avancerad tillverkningsteknologier som kontinuerlig magnetron sputteringsbeläggning i modern industri. Som ett företag som specialiserat sig på banbrytande elektromekanisk utrustning och lösningar är vi engagerade i att erbjuda högkvalitativa produkter som utnyttjar den senaste tekniken. Våra avancerade produktionsfunktioner inkluderar en fullt utrustad produktionsverkstad och lager, vilket säkerställer att våra produkter uppfyller de högsta standarderna för kvalitet och effektivitet. Vår nya high-end Electro-Copper Foil Equipment Park, beläget i Yancheng, Jiangsu-provinsen, är en del av vår pågående ansträngning för att förbättra våra teknikerbjudanden. Denna anläggning kommer att göra det möjligt för oss att ytterligare integrera avancerad beläggningsteknik, inklusive magnetronsputtering, i utvecklingen av nästa generations material och smart utrustning för energi- och elektronikindustrin.
Arbetsprincipen för magnetronsputtering innebär att kontrollera plasma- och jontätheten på ett mycket effektivt sätt. Jonerna accelererade från katoden slår målmaterialet, vilket orsakade att målatomerna kastas ut och sedan deponeras på en substratyta. Uniformiteten och densiteten för det tunna filmskiktet som bildas är viktiga attribut för denna process, vilket gör det idealiskt för applikationer som kräver konsekventa materialegenskaper, såsom slitmotstånd, korrosionsbeständighet och förbättrade optiska eller elektriska egenskaper. Denna mångsidighet gör det möjligt att applicera beläggningar på ett brett spektrum av underlag, vilket ger anpassning och precision inom industrier som elektronik, fordon och energi.

2. Vad är de viktigaste tekniska fördelarna med kontinuerlig magnetron sputtering?
Användningen av magnetronelektroder skapar en stor jonbombardementström, vilket leder till en accelererad sputteringsprocess och högre avsättningshastigheter. Detta är särskilt fördelaktigt i storskaliga produktionsmiljöer där effektivitet och hastighet är avgörande.
Magnetron sputtering ger hög effekteffektivitet. Kollisionen av lågenergielektroner med gasatomer resulterar i en högre gasjoniseringsgrad, vilket i sin tur minskar impedansen för urladdningsplasma. Denna minskning av impedans innebär att sputteringsprocessen fungerar vid lägre spänningar och tryck, vilket resulterar i förbättrad effektivitet och minskad energiförbrukning. På Hongtian Technology Co., Ltd. lägger vi stor tonvikt på krafteffektivitet eftersom det direkt påverkar både produktionskostnader och hållbarhet. Vår kontinuerliga investering i toppmoderna tillverkningsanläggningar, till exempel vår nya avancerade utrustningspark i Jiangsu, hjälper oss att ytterligare optimera energianvändningen och förbättra prestandan för den utrustning vi levererar till våra kunder över hela världen.
En annan viktig fördel är låg energiputterning, vilket resulterar i en mer kontrollerad avsättningsprocess. Magnetfältet begränsar plasma nära katoden och minskar bombardemanget av högenergipartiklar på underlaget. Denna egenskap är särskilt viktig när man arbetar med känsliga material som halvledare, där exponering med hög energi partikel kan orsaka skador. Som ett företag som har åtagit sig att tillhandahålla anpassade, högpresterande lösningar för branscher som sträcker sig från elektronik till fordon, integrerar Hongtian Technology Co. Ltd. tekniker som magnetron som sputterar i våra produktutbud för att säkerställa att vi uppfyller de högsta kvalitetsstandarderna samtidigt som riskerna för att minska material.
Bred material tillämpbarhet är en annan anledning till det utbredda antagandet av kontinuerlig magnetronsputning. Processen är tillräckligt mångsidig för att rymma olika målmaterial, inklusive metaller, legeringar och keramik. Denna flexibilitet möjliggör produktion av tunna filmer med specifika egenskaper, inklusive metallbeläggningar, legeringsfilmer och reaktionsfilmer, som är avgörande för branscher som kräver högprecisionsbeläggningar, såsom flyg-, fordon och telekommunikation.

3. Vad är de primära tillämpningarna av kontinuerlig magnetron sputteringsbeläggning?
Tillämpningarna av kontinuerlig magnetron sputteringsbeläggning är enorma och olika, som sträcker sig över flera branscher. Ett av de mest framstående områdena är elektronik- och informationsbranschen, där denna teknik används i stor utsträckning vid tillverkning av komponenter som integrerade kretsar, halvledare och informationslagringsenheter. I dessa applikationer är förmågan att producera tunna filmer med skräddarsydda elektriska och optiska egenskaper avgörande. Magnetron sputtering möjliggör exakt kontroll över filmtjocklek och materialkomposition, vilket gör den idealisk för att skapa beläggningar med specifik konduktivitet, transparens eller reflekterande egenskaper.
På Hongtian Technology Co., Ltd., inser vi vikten av kontinuerlig innovation inom sektorer som elektronik. Våra egna produktionsfunktioner, inklusive den nya high-end utrustningsparken i Jiangsu, kommer att göra det möjligt för oss att fortsätta driva innovation inom områden som elektroniktillverkning, där precision och materialanpassning är av största vikt. Vi är dedikerade till att utveckla banbrytande lösningar som integrerar den senaste tekniken, inklusive magnetron sputtering, för att ge våra kunder högkvalitativa produkter som uppfyller kraven från moderna applikationer.
En annan betydande applikation är glasbeläggning, särskilt för arkitektoniskt och bilglas. De tunna filmerna som skapats genom magnetronsputtering kan förbättra glasytans hållbarhet, funktionalitet och utseende. Detta inkluderar anti-reflekterande beläggningar, UV-skydd och värmeisoleringsskikt. Dessa beläggningar förbättrar inte bara det estetiska tilltalet utan bidrar också till energieffektiviteten genom att minska värmeabsorptionen och förbättra glasets styrka.
Förutom elektronik och glasbeläggningar används också magnetronsputtering i stor utsträckning inom området för slitbeständiga material. Denna teknik möjliggör skapandet av hårda, hållbara beläggningar som förbättrar slitmotståndet hos komponenter som utsätts för hög friktion, såsom bildelar, industriella maskiner och skärverktyg. Den höga vidhäftningsstyrkan hos de tunna filmerna som produceras genom magnetronsputtering säkerställer att dessa beläggningar förblir intakta under krävande driftsförhållanden och därigenom förlänger komponenternas livslängd.